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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
單面拋光機
TSP-380
該設備是桌面式的高精度單面拋光設備，設備占地小，操作簡單，可搭配銅盤、錫盤、玻璃盤、不銹鋼盤等，配合不同類型的拋光液，適用于各種半導體材料的拋光。
  • 拋光盤規(guī)格

    OD380 mm

  • 拋光頭數量

    2個

  • 拋光頭加壓方式

    砝碼或真空拋光壓頭

    • Features
    產品特點
    加壓方式
    真空壓頭/砝碼加壓
    驅動形式
    拋光壓頭自轉&擺動驅動系統(tǒng)
    工藝優(yōu)化
    拋光壓頭面型可調整
    供液方式
    可調流量蠕動泵供液&真空噴射供液
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