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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
單面拋光機
TAP-500/600 Dual series
該系列拋光機是雙拋光盤的高精密單面拋光設備，可實現四軸同時加工，設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉并兼具擺動，適用于各種半導體材料的拋光。
  • 晶圓尺寸

    6英寸

  • 拋光盤規格

    OD520 mm

  • 拋光盤數量

    2個

  • 拋光頭數量

    4個

    • Features
    產品特點
    兼容性好
    最大可加工8英寸晶圓
    加壓方式
    真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
    驅動形式
    可實現雙盤4拋光頭同時加工
    清洗功能
    浸沒超聲清洗 壓頭反吹水自清洗
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