單面拋光機(jī)
TSP-400/450 series
該系列拋光機(jī)是落地式高精度單面拋光設(shè)備，配置拋光盤(pán)冷卻和溫度監(jiān)控系統(tǒng)，保證拋光過(guò)程恒溫，設(shè)備操作簡(jiǎn)單、配置豐富，可搭配銅盤(pán)、錫盤(pán)、玻璃盤(pán)、不銹鋼盤(pán)等（可選配車(chē)刀系統(tǒng)），配合不同類(lèi)型的拋光液，適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。
拋光盤(pán)規(guī)格OD400 mm
拋光頭數(shù)量2個(gè)
拋光頭加壓方式砝碼或真空拋光壓頭
拋光頭擺動(dòng)功能具備
