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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片/刷洗機
全自動單軸減薄機
IVG-2040/3040
全自動單軸減薄機適用于4-12英寸晶圓的研削，配置機械手上下片，并集成自動對中、清洗、干燥功能，配置自動厚度測量和補償系統，可實現晶圓盒到盒、干進干出的全自動研削加工。
  • 最大晶圓尺寸

    8英寸

  • 砂輪規格

    ?203(OD)mm

  • 砂輪軸功率

    6.0 kw

    • Features
    產品特點
    全自動系統
    全自動上下片 干進干出的全自動研削系統
    功能全面
    自動厚度測量 多段研削程序 超負載等待
    兼容性好
    可磨削各類半導體材料 適應4-12英寸晶圓減薄
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